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北京北仪创新真空技术有限责任公司

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bjbyzk


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售后服务:
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展台信息
创店时间:
2016-08-15
所 在 地:
北京 北京市 大兴区
产品数量:
35件产品
展台收藏:
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认证信息:
实体展台认证

 

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JPGF系列镀膜机
价  格:面议 元起
交货周期:1到3周
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产品标签: 制造设备,激光加工设备,激光溶覆设备
产品描述: 制造设备,激光加工设备,激光溶覆设备
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  • 品牌:北仪创新

适用于镀制单层膜、合金膜及多层

配备DC、RF磁控溅射靶,可实现单靶溅射、DC/RF共溅等工艺模式

型号
参数
JPGF-400 JPGF-450 JPGF-700
溅射室尺寸(内径×高度) Φ400×250 Φ450×270 Φ700×350
溅射方向 由下往上(或由上往下)
真空室顶盖提升 电动
极限压力/Pa 8×10
-5
抽气时间/min 从1×10
5 Pa至2×10
-3Pa≤20
溅射工作压力/Pa 10 ~10
-1
真空系统 分子泵系统 气动阀门
溅射靶尺寸/mm Φ60 Φ80 Φ100或Φ150
溅射靶数量/套 3
溅射靶
电源
射频
功率/W 500 1000 1000
数量/套 1
直流
功率/W 1000 2000 4000
数量/套 1
工件旋转/r·min
-1 5 ~ 25
工件盘直径/mm Φ350 Φ400 Φ600
烘烤温度/℃ 室温~ 300℃ (可调)
工艺气体控制方式 一套质量流量控制器,一套自动压强仪
冷却水流量/L·min
-1 ~ 15 ~ 20
水压/kPa ≤25
进水温度/℃ ~ 2.5×10
5
压缩空气/kPa (5 ~ 8)×10
5
用电功率/kW 9 10 20
占地面积/mm 2000×1800×1900 2000×1800×1900 2000×2000×2100



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