我们的ReflX™反射物镜是和原来的反射物镜加了个可以减小P-V值的装置,可以在入射角为45度时使用。生产这种反射物镜的作用是可以达到λ/4P-V的波前,此时需要反射镜有很高的精度。为此我们的精加工中心使用QED Q22-MRF磁流体加工设备和QED SSI干涉仪来加工和检测我们的反射面形,此精度可以达到1/20ΛP-V值。
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