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压电偏摆台

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产品描述:

P51 压电偏转台内置高性能压电陶瓷, 采用无摩擦柔性铰链结构设计,采用有限元分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统,具有超高的导向精度,高刚度、大负载能力、Z向、θx、θy偏转运动台,内置高性能传感器全闭环位置反馈、确保纳米级的控制精度与定位精度、超薄的结构设计、中心大通孔可集成于显微扫描系统。
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