1、亚太瓦级飞秒激光放大系统,1套
参数:脉冲宽度<35 fs;重复频率1 KHz可调;单脉冲能量>5 mJ;
2、高功率超快光纤激光器,1套
参数:激光平均功率:20 W;脉冲宽度<350 fs;
重复频率:1-40 MHz调谐;脉冲宽度调谐范围:300 fs~1 ps;
3、高精度高平稳度加工控制系统,1套
参数:X-Y-Z,行程>1 mm×1 mm×0.2 mm;最小步进长度X,Y方向<0.1 μm,Z方向<0.01 μm;精度X,Y方向<0.01 μm,Z方向<0.002 μm;
4、高速转镜激光加工控制系统,1套
参数:型号:LSE170 NHA;横向扫描速率:>20 m/s;定位精度:<1 µrad;扫描宽度:300 mm;
5、 透射型/反射型空间光调制器,1套
参数:波长400nm-900 nm; 调制相位范围0-2 pi;调节灰度值>1024;分辨率>720p;
6、光学平台,10套
参数:尺寸3 m x 1.5 m,平面度:0.02~0.05 mm/㎡,粗糙度:≤0.8 μm;
7、光学元件与光机械