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Energetiq光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽谱光源，采用革命性的光源技术——LDLS&;激光驱动光源技术，使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。具有高可靠性，高性能，高亮度，长寿命等特点。其产品具有很宽的光谱范围，谱线包括软X 射线（SXR），远紫外线（EUV）, 深紫外线（DUV）, 并覆盖从可见光到红外光区（IR），波长范围从 170nm到2100nm 以上。
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