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传 统 双 频 激 光 干 涉 仪 系 列 （ T D I ）
测量分辨率：0.077nm@4倍光学细分   测量范围：20m   采样速率：10MHz   波长稳频精度：0.002ppm@1hour   
指导价 请联系企业
产品品牌：
拍频光电
交货周期：
现货
产品简介：
该系列激光干涉仪基于双频外差干涉技术，采用传统的空间光传输，分辨率高达 0 . 0 7 7 n m ，它具有优越的测量性能以及实时闭环反馈功能，主要应用于半导体装备、长度计量等亚纳米及纳米精度测量领域。 ★ 采用双频氦氖激光，具备 p p b 级波长稳定性 ★ 采用双频外差干涉技术，抗环境干扰能力强，易进行多轴扩展，低频噪声低 ★ 具有高数据采样率，支持动态测量和实时闭环反馈 ★ 具备 V M E
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上海拍频光电科技有限公司上海市宝山区逸仙路3000号1号楼3楼
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