该 SMS 系列短波红外模块化显微系统将成像范围从可见光谱拓展至 900–1700 nm 短波红外波段。系统采用标准玻璃光学元件与高灵敏度 InGaAs 成像模块,既保证了与传统显微镜平台的良好兼容性,又可实现对硅基材料的穿透检测。配备标准 C 接口,可与多种短波红外相机完全兼容。
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