纳米聚焦物镜位移台是高速压电驱动设备,可在高达 250 μm 的长行程范围内实现快速聚焦和扫描,并可与大多数显微镜和物镜兼容。典型应用包括表面轮廓测量、高分辨率成像、自动聚焦、扫描干涉测量和共聚焦显微镜。
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