AZO是铝掺杂的氧化锌透明导电玻璃的简称,在ZnO体系中掺杂Al得到ZnO:Al透明导电薄膜,即现今AZO薄膜已经广泛用于平板显示器和薄膜太阳能电池中。AZO薄膜,掺杂后薄膜导电性能大幅度提高,并且在氢等离子体中稳定性要优于ITO;同时可具同ITO相比拟的光电特性,在制备过程中,元素资源比In元素丰富,且无毒,逐渐为ITO膜替代者。
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