GSL-170 GsL-1700XⅡF3V是款画过CE认证的三温区管式CVD系统,其炉管直径为60mm其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高且炉烧温度可达1700C,真空度可达到5×10-2to,可以昆合1-3种气体
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