PPR过程监控系统是过程监测和诊断的真空检测仪。两种不同的进气路径提供给残余气体分析仪(RGA):一路高压进气模式用来检测基本真空,一路分压模式用来检测过程压力。压力减少路径包含一个微小孔径,其目的是使运行压力工作在0.01,0.1,1或10Torr。 它使待测压力环境满足RGA的工作要求约10-6 Torr。 这种压力控制系统是由涡轮分子的混合泵和隔膜甭组成。
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