OTF-1200X-II-HPCVD-SE产品概述TF1200XⅢ HPCVD-SE是款 HPCVD(物理化学混合气相沉积)系统,带有独特的原料推进系统和1350原位蒸发枪。原料推并系统和司时/依次将3种反应原料推入到肿管中(可设定推入位置和推进速度),以达到重合的蒸发温度。温度可控型原位葵发枪,最高晶度可达1350C,也可多固体原料原位蒸发:所以比系统可对4种国体或液体源供蒸发。此设备适台各种
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