型号PCE80是款较大型的等离子清先机,等离子腔体为85"dax12“L的石英腔体,采用的射烦电源功率0-100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氢气或氢气等气体的等离子体来去除基片上的氢化三和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和荒水性等)。对基片的青先以及薄美理此款设备是较为理想的实验帮
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