型号PCE-6V产品概述PcE6V小型等离子清先机集成了RF等离子体发生技术、计算机控带技术、软件病程技术,采用气体作为清先介质,有效地造免了因液体清先介质对被青先物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清先腔內的等高子体轻柔中刷被青先物的表面,可短时间内彻康青先掉有机污染物,清先程度可达到分子级。另外,其样品台可选配力热功能,可加负偏压,用以实现高子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变菜些材
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