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产品概述PcE6小型等亳子清先机的等高子腔体为中160mm×190mm的石英腔体，菜用的射烦电源功率30MH（1%），输出率72W、10.2W、296W三档可调。本机主要是通过空气氧气或氢气等气体的等离子体来去除基片上的氢化居和污实物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和水性等），对于基片的青洗以及膜处理是较为理想的设备PcE6小型等离子清机体积小，占用的空间少，可有效节约实验室空间。PCE6小型
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