H+P公司的XUV/VUV光谱仪采用平面掠入射具有像差校正的特点,三块光栅波长范围分别为1-20nm,5-80nm和40-200nm,总波长覆盖范围为1nm-200nm.光谱仪采用无狭缝入射能够提高光谱仪灵敏度。模块化设计能够满足不同实验的结构配置需求。它集成了狭缝固定架、滤波插入装置以及光栅电动定位装置。
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