这款光刻准分子激光器是专业为半导体工艺和微电子激光处理设计的高性能准分子激光器,适合超净间使用,满足掩膜版检测,紫外光刻,半导体处理,激光测量等应用要求。光刻准分子激光器采用最新的全金属/陶瓷技术,从而获得最长的激光寿命,不需要频繁维护,全面满足微电子和半导体工业超净间应用要求。
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