小型工业准分子激光器EX5A和EX5AR(加固型)在微型准分子激光器基础上提高激光性能,激光器寿命大大延长,激光能量输出和平均功率也高于标准的准分子激光器。非常适合需要高占空比和最少维护的激光应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~10ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,24
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