测量光斑直径、光斑轮廓、2D和3D光斑强度分布、光束指向稳定性、光斑位置、质心/峰值位置、椭圆度测量、平顶光分析等 190-1700nm响应波长(Si/InGaAs阵列探测器),0.2-6mm光斑直径 衰减器附件,极紫外光束分析附件
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