产品简介:

该款探针台可精确控制探针臂和探针的移动,通过搭配探针座、显微镜和源表等,来完成探针台的测试,精确下针,输入、输出测试电信号,漏电流<50fA;精确度高,稳定性好,皮实耐用;特别适合高校/研究所研发用。

主要规格:

-  6"同轴卡盘

-  X/Y平台行程:100X100mm

-  Z轴分辨率:1um

-  显微镜&CCD: 可达~1000x

-  真空泵(低噪音)