六自由度小体积设计
X、Y向长行程，小体积设计
负载达3kg
10的-9次方百帕真空兼容版本可选
模块化结构，行程设计更灵活
系统配备了功能强大的控制器，采用矩阵算法，虚拟支点等控制算法。
SF-3000
SF-6500 PS
SF-450 PS
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| 尺寸：600×444×209mm； | 最小运动量X/Y/Z：0.2 μm； | |
| 行程X/Y/Z：50×50×12.7mm； | 最大速度：30mm/s； | |
| 角度行程θX/θY/θZ：10°； | 电机类型：2相步进电机。 | |
| 负载：3Kg； | 点击下载详细指标 | |
| 重复精度X/Y/Z：±0.5μm； | ||
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| 尺寸：276×210×57mm； | 最小运动量X/Y/Z：0.005μm； | |
| 行程X/Y/Z：13×13×10mm； | 最大速度：10mm/s； | |
| 角度行程θX/θY/θZ：12°×12°×12°； | 电机类型：NEXACT piezo stepping drive。 | |
| 负载：2Kg； | 点击下载详细指标 | |
| 重复精度X/Y/Z：±0.008μm； | ||
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| 尺寸：200×170×77mm； | 最小运动量X/Y/Z：0.025μm； | |
| 行程X/Y/Z：12×12×6mm； | 最大速度：10mm/s； | |
| 角度行程θX/θY/θZ：13°×13°×10°； | 电机类型：PIShift piezo inertia drive。 | |
| 负载：0.4Kg； | 点击下载详细指标 | |
| 重复精度X/Y/Z：±0.25μm； | ||