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尺寸:直径550×360mm; | 重复精度X/Y/Z:高达±3μm; | |||||||
通孔:直径130mm; | 最小运动量X/Y/Z:0.5 μm | |||||||
行程X/Y/Z:100×100×100mm; | 最大速度:2mm/s。 | |||||||
角度行程θX/θY/θZ:40×40×60°; | 点击下载详细指标 | |||||||
水平面负载/任意安装角度下负载:50Kg; | ||||||||
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尺寸:直径430×250mm; | 重复精度X/Y/Z:高达±2μm; | |||||||
通孔:直径90mm; | 最小运动量X/Y/Z:0.5 μm | |||||||
行程X/Y/Z:50×50×30mm; | 最大速度:1mm/s。 | |||||||
角度行程θX/θY/θZ:20×20×40°; | 点击下载详细指标 | |||||||
水平面负载/任意安装角度下负载:50Kg; | ||||||||
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尺寸:直径300×176mm; | 重复精度X/Y/Z:高达±1μm; | |||||||
通孔:直径60mm; | 最小运动量X/Y/Z:0.5 μm | |||||||
行程X/Y/Z:44×44×30mm; | 最大速度:3mm/s。 | |||||||
角度行程θX/θY/θZ:18×18×25°; | 点击下载详细指标 | |||||||
水平面负载/任意安装角度下负载:10Kg; |