采用陶瓷电机实现超小型化结构

采用高精度光栅尺传感器直接测量位置值

运动暂停时，带自锁功能，无热量产生

XY轴高度集成

真空版本可选

 

 

LPS-65

   

1

行程：13，26，52 mm；负载：20 N；
尺寸：80~160×65×20 mm；推拉力：10 N；
设计分辨率：0.0005 μm；持住力：10 N；
最小运动量：0.001 μm（由传感器决定）；电机类型：NEXACT piezo stepping drive；
单向重复精度：0.001 μm（由传感器决定）；工作电压峰峰值：55 V；
角度串扰（pitch/yaw）：±40~±60 μrad；推荐控制器：E-861（单轴）。
最大速度：10 mm/s；点击下载详细指标
 

 

M-664

   

 

1

行程：25 mm；负载：25N；
尺寸：90×50×16 mm；推拉力：2.5N；
设计分辨率：0.1μm；持住力：2.5N；
最小运动量：0.6μm（由传感器决定）；电机类型：PILine ultrasonic piezomotor；
单向重复精度：0.2 μm（由传感器决定）；工作电压峰峰值：200V；
角度串扰（pitch/yaw）：±75/±50μrad；推荐控制器：C-867（单轴或者双轴）。
最大速度：400mm/s；点击下载详细指标
 

 

M-683

   

11

行程：50 mm；负载：50N；
尺寸：130×95×21 mm；推拉力：6N；
设计分辨率：0.02μm；持住力：6N；
最小运动量：0.1μm（由传感器决定）；电机类型：PILine ultrasonic piezomotor；
单向重复精度：0.1 μm（由传感器决定）；工作电压峰峰值：200V；
角度串扰（pitch/yaw）：±150/±50μrad；推荐控制器：C-867（单轴或者双轴）。
最大速度：350mm/s；点击下载详细指标
 

 

M-664KCEP

定制版本  

 

1

行程：50 mm；负载：-N；
尺寸：120×40×9 mm；推拉力：2N；
设计分辨率：0.5μm；持住力：2N；
最小运动量：3μm（由传感器决定）；电机类型：PILine ultrasonic piezomotor；
单向重复精度：1 μm（由传感器决定）；工作电压峰峰值：200V；
角度串扰（pitch/yaw）：±150μrad；推荐控制器：C-867定制版本，可多个串联。
最大速度：100mm/s；点击下载详细指标