行程达52mm(2)，负载达50N

负载达5kg

XY两轴以及XYZ三轴高度集成

行程达52mm(2)

 

 

 

M-110/M-111/M-112

   

1

行程：5~25 mm；螺杆导程：0.4，0.5mm；
尺寸：60~80×62×20.5 mm；负载：20~30N；
设计分辨率：0.007μm；推拉力：10N；
最小运动量：0.05~0.2μm；电机类型：带减速齿轮直流电机，2相步进电机；
单向重复精度：0.1~0.5μm；推荐控制器：C-863单轴/C-663单轴。
角度串扰（pitch/yaw）：±50~±150μrad；点击下载详细指标
最大速度：1~2mm/s；  
 

 

LS-40

   

 

1

行程：13，26，52 mm；螺杆导程：0.5，1mm；
尺寸：62.5~101.5×40×20 mm 外部电机77×40×26 mm ；负载：30N；
设计分辨率：0.01μm；推拉力：20N；
最小运动量：0.1μm；电机类型：带减速齿轮直流电机，带减速齿轮2相步进电机，不带减速齿轮2相步进电机；
单向重复精度：0.1 μm；推荐控制器：SMC控制器。
角度串扰（pitch/yaw）：±150~±190μrad；点击下载详细指标
最大速度：5mm/s；  
 

 

M-122

   

1

行程：25 mm；螺杆导程：0.5mm；
尺寸：86×60×20.5 mm；负载：50N；
设计分辨率：0.1μm；推拉力：20N；
最小运动量：0.2μm；电机类型：直流电机；
单向重复精度：0.15 μm；推荐控制器：C-863单轴。
角度串扰（pitch/yaw）：±150μrad；点击下载详细指标
最大速度：20mm/s；