提供各种电机可选

采用带预紧精密研磨丝杆或者滚珠丝杆，具有高速高转动圈数

可选选行程范围25mm~600mm

XY两轴以及XYZ三轴高度集成

高性价比解决方案

真空版本可选

 

 

M-403/M-404

   

1

行程：25~200mm；螺杆导程：1，2mm；
尺寸：141~316×80×40.5 mm；负载：200N；
设计分辨率：0.012μm；推拉力：50，100N；
最小运动量：0.1~0.25μm；电机类型：带减速齿轮的直流电机，集成了ActiveDrive放大器的直流电机，2相步进电机；
单向重复精度：0.5~1μm；推荐控制器：C-863单轴/C-663单轴。
角度串扰（pitch/yaw）：±75~±200μrad（每100mm）；点击下载详细指标
最大速度：50mm/s；  
 

 

M-413/M-414

   

 

1

行程：100~300mm；螺杆导程：1，2mm；
尺寸：255~455×120×57 mm；负载：500N；
设计分辨率：0.018μm；推拉力：50，200N；
最小运动量：0.1~0.5μm；电机类型：带减速齿轮的直流电机，集成了ActiveDrive放大器的直流电机，2相步进电机；
单向重复精度：0.5~1μm；推荐控制器：C-863单轴/C-663单轴。
角度串扰（pitch/yaw）：±100~±300μrad（每100mm）；点击下载详细指标
最大速度：100mm/s；  
 

 

VT-80

   

1

行程：25~300mm；螺杆导程：1mm；
尺寸：100~375×80×25 mm 外部电机70×40×40 mm；负载：50N；
设计分辨率：0.5μm；推拉力：30N；
最小运动量：0.2~0.5μm；电机类型：带减速齿轮的直流电机，2相步进电机；
单向重复精度：0.4~0.8μm；推荐控制器：SMC控制器。
角度串扰（pitch/yaw）：±100~±210μrad；点击下载详细指标
最大速度：20mm/s；  
 

 

VT-75

   

 

1

行程：50~600mm；螺杆导程：4mm；
尺寸：181~781×75×30 mm 外部电机110×43×70 mm；负载：50N；
设计分辨率：2μm；推拉力：18~88N；
最小运动量：0.4~2μm；电机类型：带减速齿轮的直流电机，2相步进电机；
单向重复精度：0.4~2μm；推荐控制器：SMC控制器。
角度串扰（pitch/yaw）：±40~±110μrad；点击下载详细指标
最大速度：150mm/s；