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行程:26~305mm; | 螺杆导程:2mm; | |
尺寸:225~480×110×45 mm; | 负载:100N; | |
设计分辨率:0.05μm(带光栅尺); | 推拉力:80N; | |
最小运动量:0.05~1μm; | 电机类型:直流电机,2相步进电机; | |
单向重复精度:0.05~1μm; | 推荐控制器:SMC控制器。 | |
角度串扰(pitch/yaw):±30~±100μrad; | 点击下载详细指标 | |
最大速度:45~90mm/s; | ||
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行程:50~150mm; | 螺杆导程:0.5mm; | |
尺寸:207~307×106.5×40 mm 外部电机125×60×36 mm; | 负载:200N; | |
设计分辨率:0.0035μm; | 推拉力:40,50N; | |
最小运动量:0.1~0.25μm; | 电机类型:带减速齿轮的直流电机,集成了ActiveDrive放大器的直流电机,2相步进电机; | |
单向重复精度:0.2μm; | 推荐控制器:C-863单轴/C-663单轴。 | |
角度串扰(pitch/yaw):±25~±75μrad; | 点击下载详细指标 | |
最大速度:0.7~15mm/s; | ||
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行程:25~150mm; | 螺杆导程:1mm; | |
尺寸:245~370×108×43 mm; | 负载:1000N; | |
设计分辨率:0.017μm; | 推拉力:50N; | |
最小运动量:0.05~0.25μm; | 电机类型:直流电机,2相步进电机; | |
单向重复精度:0.1~0.25μm; | 推荐控制器:C-863单轴/C-663单轴。 | |
角度串扰(pitch/yaw):±25μrad; | 点击下载详细指标 | |
最大速度:3~50mm/s; | ||
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行程:155~508mm; | 螺杆导程:5mm; | |
尺寸:470~920×180×55 mm; | 负载:1000N; | |
设计分辨率:0.05μm(带光栅尺); | 推拉力:200N; | |
最小运动量:0.05~0.5μm; | 电机类型:直流电机,2相步进电机; | |
单向重复精度:0.05~0.5μm; | 推荐控制器:SMC控制器。 | |
角度串扰(pitch/yaw):±40μrad~±100μrad; | 点击下载详细指标 | |
最大速度:75~200mm/s; |