运动步长可到10nm，高精密定位

经典定位平台

采用高刚度机械结构设计，在长行程运动下具有高稳定性

采用高精度元件，如交叉滚子导向机构，零空回滚珠丝杆

可XY两自由度组合使用，提供配套使用的Z向平移台

可选光栅尺传感器直接测距

 

 

PLS-85

   

1

行程：26~155mm；螺杆导程：1，2mm；
尺寸：119.5~257.5×85×35 mm 外部电机100×43×70 mm；负载：100N；
设计分辨率：0.05μm；推拉力：50N；
最小运动量：0.05~1μm；电机类型：直流电机，2相步进电机；
单向重复精度：0.05~1μm；推荐控制器：SMC控制器。
角度串扰（pitch/yaw）：±60μrad~±150μrad；点击下载详细指标
最大速度：20~90mm/s；  
 

 

HPS-170

   

 

1

行程：52~305mm；螺杆导程：2mm；
尺寸：261~556×170×50 mm 外部电机100×75×50 mm；负载：350N；
设计分辨率：0.05μm；推拉力：达150N；
最小运动量：0.05~0.2μm；电机类型：直流电机，2相步进电机；
单向重复精度：0.05~0.2μm；推荐控制器：SMC控制器。
角度串扰（pitch/yaw）：±20μrad~±40μrad；点击下载详细指标
最大速度：35~90mm/s；  
 

 

M-511/M-521/M-531

   

1

行程：102~306mm；螺杆导程：2mm；
尺寸：400~600×140×55 mm；负载：1000N；
设计分辨率：0.02μm；推拉力：80/80N；
最小运动量：0.1~0.5μm；电机类型：直流电机，2相步进电机；
单向重复精度：±0.1~±0.5μm；推荐控制器：C-863单轴/C-663单轴。
角度串扰（pitch/yaw）：±25μrad~±50μrad；点击下载详细指标
最大速度：6~125mm/s；  
 

 

LS-270

   

 

1

行程：155~1016mm；螺杆导程：5mm；
尺寸：550~1400×270×100 mm；负载：1500N；
设计分辨率：达0.05μm；推拉力：达260N；
最小运动量：0.05~0.5μm；电机类型：无刷直流电机，带减速齿轮的直流电机，集成了ActiveDrive放大器的直流电机，2相步进电机；
单向重复精度：0.05~0.5μm；推荐控制器：SMC控制器。
角度串扰（pitch/yaw）：±20μrad~±120μrad；点击下载详细指标
最大速度：50~150mm/s；