ELLIP-ER-III型产品是本公司研制的固定波长手动可变入射角激光椭圆偏振仪,广泛适用于大学教学和科研及太阳能领域,可用于研究金属、非晶体、太阳能材料、非线性材料等。是一款高性价比、高集成、高稳定及操作简便易用的普及型纳米级薄膜厚测试分析仪器。
主要技术参数
波长光源 : 650nm(半导体激光器), 632.8nm(氦氖激光器)。
入射角范围: 20-90度(每5度间隔)
样品台:Ø110 mm (可配三维样品台)
测量模式: 反射
测量方式: 自动完成信号测量
膜厚精度: ±0.5nm (薄膜厚度在10-100nm时)
系统定标方式 : 自洽、绝对定标。
主要特点
WINXP友好操作界面
实测光学常数种类:复折射率、复介电函数、吸收系数、反射率。
主要用途
1.各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析;
2.测量薄膜材料的折射率和厚度; 测量对象包括:金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶体、超晶格、磁性材料、光电材料、非线性材料;测量光学常数:复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R。