ELLIP-ER-III型产品是本公司研制的固定波长手动可变入射角激光椭圆偏振仪,广泛适用于大学教学和科研及太阳能领域,可用于研究金属、非晶体、太阳能材料、非线性材料等。是一款高性价比、高集成、高稳定及操作简便易用的普及型纳米级薄膜厚测试分析仪器。

 

主要技术参数

波长光源 :  650nm(半导体激光器),  632.8nm(氦氖激光器)。

入射角范围: 20-90度(每5度间隔)

样品台:Ø110 mm (可配三维样品台)

测量模式:  反射

测量方式:  自动完成信号测量

膜厚精度:  ±0.5nm (薄膜厚度在10-100nm时)

系统定标方式 : 自洽、绝对定标。

 

主要特点

WINXP友好操作界面

实测光学常数种类:复折射率、复介电函数、吸收系数、反射率。

 

主要用途

1.各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析;

2.测量薄膜材料的折射率和厚度; 测量对象包括:金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶体、超晶格、磁性材料、光电材料、非线性材料;测量光学常数:复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R。