二维θxθy PT2M25 -500S/1000S/2000S压电Tip / Tilt平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,补偿量小,确保了摆镜极佳的运动精度和超高的稳定性。结构内置高性能的压电陶瓷,基于平行运动学设计压电直驱的三脚架结构,提供了非常优异的偏转稳定性。平台采用紧凑的差分并联结构设计且内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。紧凑型设计,可更好的集成于光学系统中。详情请访问:石工:13764535512微信同号