高动态性能直推式结构
高起/停动态性能
可结合线性定位平移台使用
直接测量：集成了光栅尺，可进行直接测量
在暂停工作时，带自锁，不产生热量，无伺服抖动
导向精度较优
真空版本可选
M-660
尺寸：116×116×14mm；
U-624
U-628
尺寸：50×50×16mm；
| ||
|---|---|---|
| ||
| ||
| ||
尺寸：116×116×14mm； | 负载（轴向力）：20N； | |
| 旋转范围：无限制； | 扭矩：0.3Nm； | |
| 设计精度：4/34μrad (0.0002/0.002°)； | 驱动：超声波压电陶瓷电机； | |
| 最小运动量：12/34μrad (0.0007/0.002°)； | 推荐控制器：C-867 PIline 运动控制器。 | |
| 最大速度：720°/s； | 点击下载详细指标 | |
| ||
| 首发产品 |
| |
| 尺寸：30×30×12mm； | 负载（轴向力）：2N； | |
| 旋转范围：无限制； | 扭矩：0.02Nm； | |
| 设计精度：10μrad (0.0006°)； | 驱动：超声波压电陶瓷电机； | |
| 最小运动量：70μrad (0.004°)； | 推荐控制器：C-867 PIline 运动控制器。 | |
| 最大速度：>360°/s； | 点击下载详细指标 | |
| ||
| 首发产品 |
| |
尺寸：50×50×16mm； | 负载（轴向力）：20N； | |
| 旋转范围：无限制； | 扭矩：0.05Nm； | |
| 设计精度：3μrad (0.0002°)； | 驱动：超声波压电陶瓷电机； | |
| 最小运动量：10μrad (0.0006°)； | 推荐控制器：C-867 PIline 运动控制器。 | |
| 最大速度：>720°/s； | 点击下载详细指标 | |