IPEX^TM 840/860系列工业级准分子激光器

应用于电子、通信、半导体、医疗设备和脉冲激光沉积的工业级准分子激光器

• 采用ICONTM技术，延长气体寿命，降低成本

• EasyClean自动密封镜片功能，可在清洗更换镜片时密封激光腔

• 可选高亮度光学元件，来满足要求小发散角和长相干长度的应用

• 高稳定镜片

特点

• ICON激光腔

• EasyClean自动密封镜片功能

• 先进的镜片支架

• 专利的腔镜固定技术

• 能量稳定控制

• 预电离

• 内部气体过滤设备

优点

• 气体寿命长，更换时间间隔长，运行成本低

• 简化了光路维护，填充气体和钝化效果保持耐久

• 200μrad指向稳定性

• 镜片清洁重装后不需要重新调节

• 快速、精准、稳定的能量控制，可选内、外触发和Burst工作模式

• 优异的能量稳定性，≤1.5% (KrF)

• 除去微粒，保持主镜片洁净

规格

激光器规格参数详见产品手册或者咨询我司销售。