激光微加工的其中一个挑战是仅仅去除所需材料（通常通过局部加热来实现），与此同时使任何剩余材料的 HAZ 最小化。精确地将接近完美光束质量的激光辐射传输至目标区域，是达到理想结果的一个必要步骤。较短的 波长和较窄的脉冲宽度有利于获得较高质量的结果。例如，VIS 和UV 光谱区域中的波长在大多数材料中更容易被 吸收，导致吸收深度浅且HAZ 明显减小。紫外激光也可以聚焦成更小的光斑用于更小、加工精度要求更高的特征， 且紫外激光焦深较长，能够提高加工合格率。脉冲宽度在皮秒和飞秒量级的超短脉冲产生强峰值功率，导致样品 上的非线性吸收，实现瞬时材料蒸发，传递到材料中的热量极少，且HAZ 可忽略不计。该工艺通常被 称为“冷消融”工艺，如图1 所示。