为了满足放置在振动隔离系统上的半导体设备严格的隔振要求，TMC继续推进技术进步来开发新的解决方案。Stage-Base 450是专门设计用于具有高精度电动x-y平台的先进半导体工具的主要振动隔离系统。这种仪器需要非常高xiao的振动隔离，同样他们也要求通过快速设置移动平台来减小负载从而ji大的提高隔振效率。由于用于快速设置调节时间来进一步增加隔振效率的前馈控制音圈电机的加入，使其成为用于运动平台应用的先jin的主动振动和运动隔离系统。

特点：

• 采用STACIS专li技术

• 采用可扩展的压电陶瓷致动器

• 负载的位置可重复性在微米范围内可安装的框架设计6个隔振自由度

• 可选的音圈电机前馈或反馈

• 主动隔振从0.6 Hz开始

• 快速的调节时间来响应平台运动没有气浮支撑

• 通过US,B2.0与电脑的图形用户界面GUI连接的高速数字控制器操作简单、性能稳健，性价比高

森泉为您的科研事业添砖加瓦：

激光控制：激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等

探测器：光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等

定位与加工：纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等

光源：半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等

光机械件：用于光路系统搭建的 gao 品 zhi 无应力光机械件，如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等

光学平台：主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等

光学元件：各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、透射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等

染料：激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等