通光孔径:10mm
跟随误差:0.16ms
标刻速度:4000mm/s
定位速度:10000mm/s
1%全行程:0.32ms
10%全行程:0.75ms
重复精度:< 2μrad
增益漂移:<80PPM/k
零位漂移:<50μrad/k
8小时漂移:<0.2mrad
非线性度:< 1mrad/44°
分辨率:16bit
扫描角度:±0.35rad
通讯协议:XY2-100
供电:±15VDC,3A
重量:1800g
工作温度:25℃±10℃
波长:10600nm、1064nm、532nm、355nm
可用于3C电子、医疗器械、激光清洗、汽车、3D打印等。