参数

型号

FalconScan-20

FalconScan-30

入口光斑(mm)

20

30

跟随误差 (ms)

0.34

0.53

重复精度(μrad)

<1urad

零位漂移 (μrad/K)

<15无水冷 / <10有水冷

增益漂移 (ppm/K)

<8

8小时漂移(mrad)

<0.03

1%全行程(ms)

0.7

1.2

10%全行程(ms)

2.2

4.2

加工速度(m/s)

1.5

0.7

定位速度(m/s)

6

3

小字符速度(cps)

High quality 230 / Good quality 340

High quality 130 / Good quality 200

扫描角度

±25°

增益误差(mrad)

<5

零位误差(mrad)

<5

定位噪声RMS(μrad)

<1

非线性度 (%)

<0.1

电源要求

±15VDC，<6A

通讯接口

XY2-100 Enhanced；JCZ24-100

工作温度(℃)

25±10

冷却方式

水冷或风冷