技术参数：

◆探针位移行程：XYZ三维分别13mm+180°旋转+精密60°角度倾斜（可锁紧）

◆整体结构外形尺寸：300mm×65mm×142mm（LWH）

◆探针位移精度：1μm

◆漏电精度：同轴线缆（10pA）

            进口三同轴线缆（100fA）

◆可选接头：同轴线缆可选择BNC、鳄鱼夹、香蕉插头、N型、SMA等

            进口三同轴线缆可选择三同轴接口(Triaxial)

◆测量范围：电流：10pA/100fA-10A

            电压：≤1400V

◆适用于R/F量测、I/O点量测、直流DC测试 、晶圆测试、电阻电压测试、太阳能电池测试、光电流测试、半导体器件分析测试等