技术参数：

★探针位移行程：XYZ三维分别13mm+360°旋转+任意角度倾斜

★整体结构外形尺寸：170mm×45mm×80mm（LWH）

★探针整体位移精度：10μm

★漏电精度：同轴线缆（10pA）

            进口三同轴线缆（100fA）

★可选接头：同轴线缆可选择BNC、鳄鱼夹、香蕉插头

            进口三同轴线缆只能选择三同轴接口(Triaxial)

★测量范围：电流：10pA/100fA-10A

            电压：≤1000V

★适用于R/F量测、I/O点量测、直流DC测试 、晶圆测试、电阻电压测试、太阳能电池测试、光电流测试、半导体器件分析测试等