高分辨率----采用对称式交叉C-T光路设计，100毫米长焦成像设计和高线数平面全息光栅，可提供高达0.1nm的分辨率；

轻便----尺寸更小、更薄，方便集成到设备中；

快速开发----提供软件开发工具，封装所有功能，一处添加，多处调用；

支持定制- - - -波长范围从1 9 0 nm到1 1 0 0 nm可选，狭缝从5 um到250um可选；