产品概述

领聚微探头激光干涉仪是一款自主研发的国产高精度位移测量仪器，专为亚纳米级精密计量而设计。源于哈尔滨工业大学超精密光电仪器研究所的技术积累，该产品在分辨率、长期稳定性和环境适应性上，已达到国际前沿水平，直接对标 attocube、SmarAct 等同类产品。

关键性能指标已通过国家最高计量机构及国防一级计量站等计量机构的严苛测试，测量结果可溯源至国家基准。仪器支持单轴至四轴同步测量，光纤探头设计灵活轻巧、集成便捷，测量速度达至高 2 m/s，可实现亚原子级实时位移捕捉。

相较进口仪器，领聚产品不仅性能相当，更具备显著的性价比优势、本土化快速响应以及可靠的供应链安全保障，广泛应用于半导体、计量校准、科研、超精密装备集成等领域。

关键特点及规格

• 探头尺寸：最小可达Φ3.4mm×20mm

• 超高精度：0.1nm测量分辨率

• 测量速度：最大2m/s

• 测量范围：0-3 m

光纤微探头系列

该系列产品有多款尺寸mm级紧凑探头，包括汇聚式、准直式、超长距离式等选择，支持OEM灵活定制，提供高真空等兼容场景版本。

微探头产品系列矩阵

该仪器具有多个版本供用户选择，包括触发-单轴型，联动多轴（典型四轴）和独立多轴（典型三轴），可以通过多种形式的组合来满足不同的应用需求，比如多个单轴的组合。

应用领域

高端装备集成：精密位移台位置反馈、精密机床位置反馈等。

计量校准：精密运动系统与CMM精度验收、 微纳传感器标定等。

工业制造：直线电机与精密模组反馈、半导体设备运动平台精度验证与调校、光学组件调试装配、机床精度补偿与出厂标定等。

前沿科学与科研高校：微纳器件研发校准/光路调试等。