产品概述
领聚科技的高速多通道精密激光干涉仪专为多通道、高速精密计量测量而设计。可支持多自由度运动台的低于20pm测量分辨力、激光稳频精度2E-8、测量速度2.7m/s以上、非线性误差2.4nm、波长准确度0.02pm、波长稳定性0.002pm（3h）和10MHz动态更新率。
可实现对光刻机为代表的高端装备精密运动台的高精度动态实时多个自由度同步测量。
本系列激光干涉仪可实现对Keysigt、ZYGO的同类产品的原位替代。
典型性能参数
| 高精度空间分离型激光器 | |
| 波长准确度 | 0.02 ppm |
| 波长稳定性 | 0.002 ppm(3h) |
| 激光功率 | 700 μW |
| 激光频差 | 20 MHz |
| 高精度双频合光器 | |
| 光斑直径 | 6/9 mm |
| 光束发散角 | 75 μrad |
| 光轴位置偏差 | 0.2 mm |
| 光轴角度偏差 | 50 μrad |
| 高精度激光干涉镜组 | |
| 测量轴数 | 1-5轴 |
| 光学细分数 | 4 |
| 热漂移系数 | 40 nm/K |
| 非线性误差 | 2.4 nm |
| 角度容差 | 1.5 mrad@300mm |
| 光束平行度 | 50 μrad |
| 高速干涉信号处理卡 | |
| 测量轴数 | 多通道 |
| 电子细分数 | 8192 |
| 测量速度 | 2.7m/s以上 |
| 输入信号光强 | 0.1-30 μW |
| 数据更新率 | 10MHz |
*具体技术参数、交付物品及相关服务明细以设备技术协议为准；
典型应用场景
光刻机高精度多自由度实时位置反馈；
高端机床高精度多自由度位置测量等。
高精度多自由度计量、测量场景。