产品概述
领聚科技的皮米级多通道超精密激光干涉仪，追求真空中的极致测量精度，噪声标准差低至20pm，周期非线性低至10pm，热稳定度优于30pm/mk，支持不同场景下的灵活定制，为用户提供系统设计、指标分析等全套方案。
典型性能参数
| pm级干涉光源 | |
| 波长准确度 | 10 ppb |
| 波长稳定性 | 0.8ppb(3h)±8ppb (lifetime) |
| 激光功率 | 850 μW |
| 激光频差 | 1 MHz |
| pm级干涉信号处理卡 | |
| 测量轴数 | 6 |
| 测量分辨力 | 2.4 pm |
| 测量速度 | 50mm/s |
| 电子细分数 | 65536 |
| 数据更新率 | 10kHz |
| pm级干涉镜组 | |
| 非线性误差 | 标品100~300pm 特殊定制≤10pm |
| 热稳定性 | 30pm/mK |
| 角度容限 | 1 mrad@300mm |
| 光学细分数 | 4 |
*具体技术参数、交付物品及相关服务明细以设备技术协议为准；
典型应用场景
高端装备：先进光刻机物镜系统监测。
计量校准：纳米压电台、电容传感器、其他型激光干涉仪等。
前沿科学：量子化质量基准装置。
高精度多自由度计量、测量场景。