产品简介：
         F20-XT经过优化可以测量厚的薄膜。要测量大于50微米的薄膜是一种挑战，因为这时光学厚度(光学厚度=物理厚度x折射率)更厚。有些薄膜，例如硅膜，厚度在大于几微米时，在可见光波长下变得不透明。基于F20-NIR平台的F20-XT内配置了一个512元素的铟镓砷光谱仪，覆盖了1400-1650nm波长范围的这个系统在近红外区域内具有0.5nm的波长分辨率，使其能够比其他光学系统检测更厚的薄膜。
应用领域:
         微机电系统MEMS；
         绝缘体上硅SOI；
         倒装芯片Flip Chips；
         厚聚合物。