产品简介:
工艺工程师们都希望能快速测量薄膜厚度而且避免大量麻烦。 我们创新的Thickness ImagingTM测量技术使Filmetrics能够提供简易的配方设定、行业领先的生产能力以及仅需竞争对手计量工具几分之一的成本。
和只能在单个点上测量厚度的普通计量工具不同,F80能够通过在靠近测量区的地方收集数千个厚度读数而快速产生厚度图像。 这一革命性创新方法的成果就是:
超快速测量-快到能在21秒钟内测量15个点
出众的使用便利性
更加可靠耐用的自动化
比竞争者更低的成本
该系统有不同的配置方式,从低成本、手动加载台式系统到BOLTS集成计量模块以及完全自动化的独立输送盒至输送盒系统。F80就是化学机械抛光(CMP)、化学气相沉积(CVD)、物理机械抛光(PVD)和晶圆涂胶工艺工程师们梦寐以求的工具。