氧化镁(MgO)是典型高脆性功能陶瓷材料,具有高熔点(2800℃)、宽禁带(7.8eV)、低介电损耗等特性,广泛用作高温超导、铁电、磁学及半导体薄膜生长衬底。传统机械切割易产生微裂纹和崩边,我司采用紫外皮秒激光冷加工工艺,有效解决脆性材料切割难题。
① 紫外皮秒冷加工:热影响区趋近于零,避免材料热损伤
② 抑制微裂纹:针对脆性材料优化多道扫描工艺,控制应力分布
③ 边缘质量高:切口干净平滑、无崩边无毛刺,减少后续研磨量
④ 精度可控:±10μm 加工精度,满足科研级要求⑤ 柔性定制:支持任意形状、打孔、雕刻,无需开模
高温超导薄膜(HTSC)生长衬底切割
铁电 / 铁磁 / 磁学薄膜衬底加工
半导体及光学薄膜衬底制备
红外光学窗口(0.3~7μm 透过波段)精密切割
微波器件 / 高温超导滤波器基片加工
等离子体器件、高温绝缘构件加工
科研院所定制化实验平台样品制备
加工材料:氧化镁(MgO)单晶 / 多晶切片
材料厚度:0.45mm(支持其他厚度定制)
加工工艺:紫外皮秒 / 纳秒激光精密切割
加工精度:±10μm
最小线宽:≤30μm
孔径范围:φ30μm~φ10mm(可定制)
切割边缘:干净平滑,无明显崩边
微裂纹:有效抑制,热影响区极小
支持图形:任意二维形状,来图定制