XM系列超精密线性电动平移台
特点：
● 最小位移增量仅1nm
● 非接触式、直驱系统保证了高动态和可靠的超精密运动
● 亚纳米高精度glass scale 编码器提供精确位置反馈，重复性为80nm
● 超大，无铁磁性，高效线性马达使发热量最小
● 超静音仿蠕动交叉滚珠轴承保证了无涟波运动