光学级经济加工指标

方向公差

< 1°

厚度/直径公差

±0.10  mm

面形（平面度）

<(λ-2λ)@632nm

波前畸变

<(2-4)λ@632nm

表面光洁度

80/50

平行度

10ˊ

垂直度

60ˊ

通光孔径

>90%

倒边

<0.2×45°

光学级标准加工指标

方向公差

< 0.5°

厚度/直径公差

±0.10  mm

面形（平面度）

<(λ/2-λ/4)@632nm

波前畸变

<(1-2)λ@632nm

表面光洁度

60/40

平行度

1ˊ

垂直度

30ˊ

通光孔径

>90%

倒边

<0.2×45°

光学级优级加工指标

方向公差

< 0.2°

厚度/直径公差

±0.02  mm

面形（平面度）

(λ/4-λ/6)@632nm

波前畸变

<(λ-λ/2)@632nm

表面光洁度

40/20

平行度

45〞

垂直度

20ˊ

通光孔径

>90%

倒边

<0.2×45°