产品简介

ScAlMgO4晶体是最近发展起来的一种GaN和ZnO异质外延用理想的衬底材料，是目前与GaN和ZnO晶格失配最小的新型衬底材料。ScAlMgO4晶体属于六方晶系，晶格常数a=0.3246nm，c=2.5195nm，具有菱形六面体层状结构，与纤锌矿氮化物和氧化锌的结构相似。ScAlMgO4是一种与GaN和ZnO 晶格常数和结构非常匹配的衬底材料（表1）。它与GaN的晶格失配率约为1.8%，与ZnO的晶格失配率仅为0.09%，a轴的热膨胀系数为6.2×10-6/℃，c轴的热膨胀系数为12.2×10-6/℃，与GaN、ZnO外延薄膜之间的热膨胀系数失配比传统的蓝宝石和硅等衬底好的多。



指标

衬底级经济加工指标

< 1°

厚度/直径公差

<(λ-2λ)@632nm

表面光洁度

10ˊ

垂直度

<0.2×45°

 

衬底级标准加工指标

< 0.5°

厚度/直径公差

<(λ/2-λ/4)@632nm

表面光洁度

1ˊ

垂直度

<0.2×45°

 

衬底级优级加工指标

< 0.2°

厚度/直径公差

(λ/4-λ/6)@632nm

表面光洁度

45〞

20ˊ

倒边