产品简介
TeO2单晶因其具有很高价值的声光质量和品质因素，有良好的双折射和旋光性能，沿[110]方向传播的声速慢。在相同通光孔径下，用TeO2单晶制做的声光器件与其他声光晶体器件比分辨率更高，响应速度快，驱动功率小，衍射效率高，性能稳定，近年来声光调制器和声光滤波器在光计算、光通讯和光显微成像等技术中应用的不断发展，在声光调制器、声光偏转器、声光滤波器等方面有着更加广泛的应用，是制做声光偏转器、声光调制器、谐振器等各类声光器件的理想材料。
指标
衬底级经济加工指标 | |
方向公差 | < 1° |
厚度/直径公差 | ±0.10 mm |
面形（平面度） | <(λ-2λ)@632nm |
表面光洁度 | 80/50 |
平行度 | 10ˊ |
垂直度 | 60ˊ |
倒边 | <0.2×45° |
衬底级标准加工指标 | |
方向公差 | < 0.5° |
厚度/直径公差 | ±0.10 mm |
面形（平面度） | <(λ/2-λ/4)@632nm |
表面光洁度 | 60/40 |
平行度 | 1ˊ |
垂直度 | 30ˊ |
倒边 | <0.2×45° |
衬底级优级加工指标 | |
方向公差 | < 0.2° |
厚度/直径公差 | ±0.02 mm |
面形（平面度） | (λ/4-λ/6)@632nm |
表面光洁度 | 40/20 |
平行度 | 45〞 |
垂直度 | 20ˊ |
倒边 | <0.2×45° |