特征
·主动隔离1-200赫兹
·两个模块可以隔离六个自由度
·内部反馈回路
·可以根据负载和尺寸要求自由组合
·易于安装和简单的使用，无需持续维护
·无共振频率，响应时间快
应用领域
·扫描探针显微镜（AFM/LFM/STM）
·激光干涉仪
·激光共聚焦显微镜
性能指标
1.隔振频率：1---200Hz
2.隔振方向：六个自由度力的补偿，负荷调节功能。
3.隔振性能：>5Hz =90%, >10Hz = 95%
4.负载能力：15-300Kg
5.10-20 毫秒的响应时间
6.重量：50kg
7.供电：220V,50W
8.工作温度：5---40摄氏度
9.隔振台放置于平面度0.5mm的硬质平面上
10.台面尺寸可以定制（600*500---800*1000）
11.模块可以多条组合成更大的尺寸
主动隔振控制系统型号说明
VCM:型号--------振动控制模块
模块数量区分：S代表单条模块 D代表双条模块 T代表三条模块
例如：
VCM-S400：代表单条长度400mm主动隔振控制系统
VCM-D400：代表双条长度400mm主动隔振控制系统
VCM-D600: 代表双条长度600mm主动隔振控制系统
单条标准模块承载为150kg；400与600载重相同。