详细介绍
G150M和G150S激光平面干涉仪为正立式结构,通光口径为150mm。
G150M型平面干涉仪专为计量级测试的需求设计,适用于计量机构检定和校准光学平晶。其集 高性能、长寿命氦氖激光器,1-6.7倍图像放大功能,高精度的成像系统和图像采集系统,精密平面 标准镜等一系列高精技术,通过优化光学系统和机械系统结构,实现高精密平面光学元件的测量。
G150S为G150M的简化版本,适合光学车间的现场检验。
主要用途:平面类光学元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)表面面形、光学平行度和材料均匀性的 测试;准直系统波前质量的测试。
产品型号 | G200M | G150M | G150S |
测量方式 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 |
有效通光口径 | 200mm | 152.4mm(6英寸) | 152.4mm(6英寸) |
标准镜材料 | 熔石英(康宁7980) | 熔石英(康宁7980) | 熔石英(康宁7980) |
光源 | 氦氖激光(632.8nm) | 氦氖激光(632.8nm) | 半导体激光(635nm) |
连续变焦倍数 | 1-6.7倍 | 1-6.7倍 | 固定倍率 |
光路切换 | 对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换 | ||
显示方式 | 计算机或独立监视器实时显示 | ||
平面透过标准镜 | PV:优于λ/15 | PV:优于λ/20,可定制更高精度标准镜 | |
平面反射标准镜 | 选配 | 标配 | 选配 |
衰减过滤片 | 选配 | 选配 | 选配 |
仪器尺寸·(长X宽X高) | 550X550X1100mm | 550X550X1070mm | 550X550X1070mm |
仪器重量 | 100KG | 80KG | 80KG |
电源 | AC100-240V 50/60Hz | AC100-240V 50/60Hz | AC100-240V 50/60Hz |
气浮平台(长X宽) | 标配(1200X600mm) | 标配(1200X600mm) | 选配 |
仪器特点
◇ 精度高:标准镜精度高,且材料经过精密退火处理,稳定可靠; ◇ 调整方便:可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式,方便调整; ◇ 条纹真实:优良的光学设计,精密的系统装保证得到清晰、准确、真实的干涉条纹; ◇ 性能优良:仪器具备良好的隔振性能,适合光学加工现场使用; ◇ 配件丰富:标配密封罩,可将测试腔与外界气流隔离,降低测试过程中气流扰动,提高判断的准确性。配合衰减过滤片,可以测量镀高反膜元件。 |