详细介绍

G150M和G150S激光平面干涉仪为正立式结构,通光口径为150mm。

G150M型平面干涉仪专为计量级测试的需求设计,适用于计量机构检定和校准光学平晶。其集 高性能、长寿命氦氖激光器,1-6.7倍图像放大功能,高精度的成像系统和图像采集系统,精密平面 标准镜等一系列高精技术,通过优化光学系统和机械系统结构,实现高精密平面光学元件的测量。

G150S为G150M的简化版本,适合光学车间的现场检验。

主要用途:平面类光学元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)表面面形、光学平行度和材料均匀性的 测试;准直系统波前质量的测试。 


仪器规格参数表

 

产品型号

G200M

G150M

G150S

测量方式

菲索干涉原理

菲索干涉原理

菲索干涉原理

有效通光口径

200mm

152.4mm(6英寸)

152.4mm(6英寸)

标准镜材料

熔石英(康宁7980)

熔石英(康宁7980)

熔石英(康宁7980)

光源

氦氖激光(632.8nm)

氦氖激光(632.8nm)

半导体激光(635nm)

连续变焦倍数

1-6.7倍

1-6.7倍

固定倍率

光路切换

对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换

显示方式

计算机或独立监视器实时显示

平面透过标准镜

PV:优于λ/15

PV:优于λ/20,可定制更高精度标准镜

平面反射标准镜

选配

标配

选配

衰减过滤片

选配

选配

选配

仪器尺寸·(长X宽X高)

550X550X1100mm

550X550X1070mm

550X550X1070mm

仪器重量

100KG

80KG

80KG

电源

AC100-240V 50/60Hz

AC100-240V 50/60Hz

AC100-240V 50/60Hz

气浮平台(长X宽)

标配(1200X600mm)

标配(1200X600mm)

选配

仪器特点


 

 精度高:标准镜精度高,且材料经过精密退火处理,稳定可靠;

◇ 调整方便:可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式,方便调整;

◇ 条纹真实:优良的光学设计,精密的系统装保证得到清晰、准确、真实的干涉条纹;

◇ 性能优良:仪器具备良好的隔振性能,适合光学加工现场使用;

◇ 配件丰富:标配密封罩,可将测试腔与外界气流隔离,降低测试过程中气流扰动,提高判断的准确性。配合衰减过滤片,可以测量镀高反膜元件。